E04700 - SEMI E47 - Specification for 150 mm/200 mm Pod Handles Revision:SEMI E47-0301 - Superseded it can be assumed that

it can be assumed that the term is a noun

It provides three classes of smaller diameter test wafers (through 125 mm)

SEMI E5-88 (technical revision)

本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータ・ネットワーク（SAN）スタンダード・グループの一部であり，CC-Linkスタンダードに基づいた独自の通信プロトコルを規定するものである。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）は，明らかにSEMI SANおよびCC-Linkスタンダード全部で一つのオープン・スタンダードを完璧にそして明白に定義している。そのスタンダードは半導体製造装置内でネットワーク化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持たせるための業界独自の方法を提供することになる。

E04700 - SEMI E47 - Specification for 150 mm/200 mm Pod Handles Revision:SEMI E47-0301 - Superseded it can be assumed thatNOTICE: This Standard or Safety Guideline has Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 1 Purpose 1. 1 This Specification provides a unified form and location for pod handles to enable automatic pod handling. 2 Scope 2. 1 This Specification defines the dimensions and location of handles on 150 mm 200 mm pod.